拋光對晶體硅太陽能行業(yè)來說是一個非常重要的過程。硅塊的表面只有在拋光后才能切割。拋光的質(zhì)量將直接影響切割質(zhì)量，從而顯示拋光的重要性。

  1.現(xiàn)狀

  由于硅片車間的加速切割，操作人員在實際工作中稍有疏忽就會導致硅片切割質(zhì)量差。主要分為：切割硅塊表面有鋸痕；硅塊尺寸中間有鼓肚；斷線引起的局部硅塊彎曲。目前車間的刷式砂輪不能完全去除切割造成的鋸痕；對于鼓肚問題的硅塊，由于刷式砂輪的拋光能力有限，中間尺寸無法去除。此時迫切需要具有較強研磨能力的砂輪。

  2.實施方法

  目前車間使用的拋光機的主要原理是通過粗砂輪和細砂輪依次拋光硅塊表面?，F(xiàn)在用金剛石砂輪代替拋光機的粗砂輪，細砂輪用刷式砂輪拋光硅。

  3.測試過程

  為提高硅片表面的拋光質(zhì)量，采用金剛石粗砂與刷式細砂相結(jié)合。粗砂去除硅塊表面的鼓肚和大鋸痕，然后細砂輪保證剩余的精拋光。實際操作中必須保證以下幾個方面：

  金剛石粗砂拋光時，應給予足夠的冷卻水，保證水路暢通，保證砂輪前端蓋的安裝，使水更均勻地撒在砂輪上，保證機床研磨臺下V槽精確拋光時的研磨速度為5-10mm/s4。試驗數(shù)據(jù)統(tǒng)計，金剛石砂輪可以解決開方機造成的問題，主要分為金剛線開方機造成的硅塊鼓肚問題；砂漿切割導致硅塊表面鋸痕大。